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中集安瑞科成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱
作者:官方
來源:中集安瑞科
所屬欄目:企業風采
發布時間:2023-04-12 22:10
[ 導讀 ]近日，中集安瑞科旗下石家莊安瑞科氣體機械有限公司成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱，標志著我國電子氣體儲運裝備...
近日，中集安瑞科旗下石家莊安瑞科氣體機械有限公司（以下簡稱“石家莊安瑞科”）成功交付全國首臺磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱，標志著我國電子氣體儲運裝備領域實現新的突破。
磷烷與氫氣混合氣管束式集裝箱
據了解，該管束式集裝箱由中集安瑞科自主研發，是一種專用于批量儲運磷烷與氫氣混合氣的特種設備。在半導體制備工藝中，需要經常采用一定濃度的磷烷和氫氣混合氣體（屬于電子氣體的一種），目前市面上這類氣體儲運主要采用高純度高壓氣瓶（Y-ton氣瓶）、小氣瓶，而此次交付的管束式集裝箱可儲氣13m3，單次運輸的儲氣量等同于200個小氣瓶的儲氣量，大幅降低氣體公司的運營成本，滿足半導體行業大量用氣的需求。
同時，由于磷烷與氫氣的混合氣極易燃燒、具有強毒性，該裝備在設計上做到“零泄露”，在管路與閥門之間完全采用軌道焊接，極大地提高了產品的安全性。
石家莊安瑞科作為國內規模最大的電子氣體儲運裝備供應商，多年來在磷烷與氫氣混合氣儲運裝備上深入研究，已經掌握關鍵的核心技術，此次推出大容積管束式集裝箱將進一步推動半導體行業的發展，為中國實現“芯片強國”貢獻力量。
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